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      大範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY

      • 產品型號：
      • 產品時間：2024-05-21
      • 簡要描述：室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學，半導體表征
      • 產品介紹

      室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學，半導體表征


      ⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY產品特⾊

      • 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um；

      • 閉環定位精度優於 1nm；

      • 最⼤負載 500 g；

      • 針對光學顯微鏡-超分辨定製化解決⽅案；

      • ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選件升級


      Carrier.S200.XY ⼤範圍壓電掃描台 — 技術參數
       

      可選版本 ⇨

      正常版本

      .NM     絕對⽆磁版本；

      .HV，     ⾼真空版本 ;

      .UHV ，超⾼真空版本；

      1           底⾯尺⼨*⾼度

      180 mm × 150 mm × 20 mm

      2           主體材料

      鋁合⾦

      3            中空透孔

      80 mm × 60 mm

      4           運動⾏程

      200 um × 200 um

      5            閉環分辨率

      優於1nm

      6           推薦最⼤負載

      500 g

      7            閉環傳感器

      電容式

      8            電容精度

      0.3 nm

      9           壓電電容(X, Y)

      6.5 uF

      15 到 40 攝⽒度

      10          推薦使⽤溫度

      11          質量

      1 kg

      12          安裝

      螺紋孔⾃動兼容 Carrier.L7550.XY

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